上海微電子公司榮獲第二十一屆中國(guó)專利優(yōu)秀獎(jiǎng)
7月15日,由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局和世界知識(shí)產(chǎn)權(quán)組織共同評(píng)選的第二十一屆中國(guó)專利獎(jiǎng)?wù)桨l(fā)布授獎(jiǎng)決定,上海微電子公司發(fā)明專利“一種步進(jìn)光刻設(shè)備及光刻曝光方法(ZL201110241791.3)”榮獲第二十一屆中國(guó)專利優(yōu)秀獎(jiǎng),這也是上海微電子公司獲得的第九項(xiàng)中國(guó)專利優(yōu)秀獎(jiǎng)。
2020-08-28 09:18:06