第1年
上海伯東 氦質譜檢漏儀 ASM 340
HVA 真空閘閥 真空插板閥 81000 系
HVA 真空閘閥 真空插板閥 71000 系
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 60P
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 450
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 80 Neo
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 10
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 700
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 350
HVA 真空層流閘閥 13000系列
- 材質：
- 不銹鋼
因產品配置不同，價格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實際成交合同為準。
HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東美國 HVA 矩形閥門 88200系列矩形板閥是采用了直連驅動技術的接口閥，可靠使用壽命超過1百萬次。HVA 閘板閥專用于真空相關系統，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設計緊湊，可靠應用于生產線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統（handling system），傳輸系統（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板閥產品特點
1. 超百萬次可靠運行壽命
2. 不產生粉末，顆粒，防塵設計
3. 閥動作平穩,振動和沖擊小
4. 標準接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
HVA 88200 系列矩形真空板閥技術參數
連接形式： | 標準或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 鋁 |
公稱通徑： | DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
漏率: | 2x10E-9 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: | 《150℃ |
適用介質： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅動方式： | 氣動 |
使用壽命: | 1000000 啟閉次數 |
28200＆88200系列矩形真空板閥訂貨號及2D & 3D 圖
DN | Model |
|
| |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | inch | Number | J (Bolted Body) | K (Clamped Body) | ||||
32 x 220 | 1.26 x 8.74 | 28212-0109RX_ | ||||||
32 x 332 | 1.26 x 13.07 | 28212-0113RX_ | ||||||
46 x 236 | 1.81 x 9.29 | 28212-0209RX_ | ||||||
50 x 336 | 1.97 x 13.23 | 28212-0213RX_ | ||||||
HVA 28200＆88200 系列矩形真空板閥部件圖
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