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  • 智能裝備 智慧領域 上海微電子裝備獲得2020年度上海科技進步二等獎
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    5月25日,2020年度上海市科學技術獎公布,上海微電子裝備“高性能雙脈沖激光退火設備研發與IGBT生產應用”獲得2020年度上海市科技進步二等獎。

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