智能裝備 智慧領域 上海微電子裝備獲得2020年度上海科技進步二等獎
5月25日，2020年度上海市科學技術獎公布，上海微電子裝備“高性能雙脈沖激光退火設備研發(fā)與IGBT生產應用”獲得2020年度上海市科技進步二等獎。
2021-05-28 19:36:44 |
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5月25日，2020年度上海市科學技術獎公布，上海微電子裝備“高性能雙脈沖激光退火設備研發(fā)與IGBT生產應用”獲得2020年度上海市科技進步二等獎。
2021-05-28 19:36:44
7月15日，由國家知識產權局和世界知識產權組織共同評選的第二十一屆中國專利獎正式發(fā)布授獎決定，上海微電子公司發(fā)明專利“一種步進光刻設備及光刻曝光方法（ZL201110241791.3）”榮獲第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎，這也是上海微電子公司獲得的第九項中國專利優(yōu)秀獎。
2020-08-28 09:18:06
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