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寧波怡信_3D光學干涉輪廓儀_輪廓儀

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寧波怡信光電科技有限公司
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寧波怡信_3D光學干涉輪廓儀_輪廓儀 產品詳情

3D光學干涉輪廓儀

非接觸、快速靈活、功能多的一體化測量系統

3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

集成電路激光槽測量

MEMS結構輪廓形貌、三維尺寸

太陽能電池柵線測量

集成電路晶圓背面減薄粗糙度


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