公司發(fā)展至今已有三個事業(yè)部：成套半導體裝備事業(yè)部、零部件事業(yè)部、氣體及工程事業(yè)部。成套半導體裝備事業(yè)部和零部件事業(yè)部目前主要對微電子所微電子設備技術研究室研發(fā)成熟的產(chǎn)品進行銷售和產(chǎn)品服務。微電子設備技術研究室是專業(yè)從事微電子裝備技術研發(fā)的部門，擁有近30年的技術積累。研究室長期承擔國家科技重大專項等科研項目,進行創(chuàng)新設備技術探索。

成套半導體裝備事業(yè)部于1986年成功研發(fā)國內(nèi)首臺多功能磁增強反應離子刻蝕機，為“七五”國家重點科技攻關項目重要科研成果。1993年，ME-3A型多功能磁增強反應離子刻蝕機獲中科院科學技術進步二等獎。1997年，在“八五”國家重點科技攻關項目的支持下，研制成功國內(nèi)首臺ICP刻蝕機，并于1998年，實現(xiàn)ICP-98A刻蝕機的首臺銷售。經(jīng)過近三十年的發(fā)展，已成功研發(fā)多種型號的刻蝕機、濺射臺和PECVD機。