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繼MD系列后,德爾森超高溫單晶硅表壓、差壓、絕壓傳感器芯片(HMD系列)實(shí)現(xiàn)全量程批量生產(chǎn)啦

來源:德爾森 ??2017-06-12 閱讀:854
 德爾森是一家總部位于德國法蘭克福、中國重慶、中國張家港的高新技術(shù)企業(yè),致力于智能傳感器研發(fā)、生產(chǎn)與服務(wù)。德爾森的主要產(chǎn)品是高端MEMS智能傳感器,現(xiàn)擁有33項(xiàng)國內(nèi)與國際專利,公司開發(fā)與批量生產(chǎn)的第五代高穩(wěn)定性單晶硅MEMS傳感器芯片,第六代超寬溫區(qū)SOI傳感器芯片,多項(xiàng)指標(biāo)超過國際一流廠家,技術(shù)處于國際領(lǐng)先,也填補(bǔ)了我國工業(yè)級(jí)MEMS單晶硅傳感器芯片無法自主研發(fā)與制造的空白。國產(chǎn)傳感器仍以中低端為主,缺乏核心技術(shù)和基礎(chǔ)能力,中高檔傳感器產(chǎn)品幾乎100%從國外進(jìn)口,90%芯片依賴國外,德爾森傳感器的出現(xiàn),打破了國外高端傳感器的壟斷。現(xiàn)產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外多個(gè)領(lǐng)域:工業(yè)過程自動(dòng)化、工廠與設(shè)備自動(dòng)化、智能物聯(lián)網(wǎng)環(huán)境監(jiān)測、智能結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測與診斷、智慧城市與智能建筑、船舶與航空等。
 德爾森是中國首家將 MEMS傳感器芯片設(shè)計(jì)與生產(chǎn)、傳感器封裝與測試、傳感器通訊與系統(tǒng)集成,這三道核心工藝集合在一起的企業(yè)。這樣德爾森可從傳感器芯片源頭出發(fā)、為客戶與合作伙伴,根據(jù)具體應(yīng)用需求,量身定做定制化產(chǎn)品,共同提高產(chǎn)品在行業(yè)內(nèi)的高度與更加優(yōu)化的解決方案。
 
繼MD系列后,超高溫單晶硅表壓、差壓、絕壓傳感器芯片(HMD系列)實(shí)現(xiàn)全量程批量生產(chǎn)啦
QQ圖片20170612103010 
半導(dǎo)體硅材料在150℃之上,其漏電流會(huì)指數(shù)級(jí)增大,從而導(dǎo)致其電特性無法實(shí)現(xiàn)規(guī)律變化,也正是因此超過150℃以上的硅材質(zhì)MEMS傳感器一直為行業(yè)中的難點(diǎn)。
德爾森公司采用將SOI(絕緣體硅薄膜)技術(shù)與MEMS技術(shù)巧妙結(jié)合的方式,有效的解決了高溫下硅傳感器的漏電流問題,傳承上一代MD系列芯片的3D刻蝕結(jié)構(gòu),依然延續(xù)了其超高過壓性能與高穩(wěn)定性。
獨(dú)特的PVD工藝,使傳感器芯片在高溫下依然擁有優(yōu)異的靜壓特性與長期穩(wěn)定性,使該傳感器芯片完全具備軍工品質(zhì)的壓力與差壓測量。
 
德爾森HMD系列單晶硅傳感器芯片的特性:
 
■ 標(biāo)準(zhǔn)量程   
    10kPa、40kPa、400kPa、4MPa、40MPa五個(gè)標(biāo)準(zhǔn)量程。
 
■ 優(yōu)異的過壓性能
    10kPa芯片過壓達(dá)2.5MPa(250倍過壓)
    40kPa芯片過壓達(dá)4MPa(100倍過壓)
 
■ 超寬溫區(qū)工作溫度:-196℃~350℃
 
■ 兩種硅基厚度選擇(1.0mm,2.5mm),滿足多種應(yīng)用。
 
■ 超高橋阻:30kΩ    
    30kΩ超高橋阻保證輸出信號(hào)在超寬溫區(qū)內(nèi)的超高信噪比,同時(shí)微小的零點(diǎn)偏移,極佳溫度特性。    
 
HMD系列芯片的量產(chǎn),填補(bǔ)了我國工業(yè)級(jí)MEMS高溫區(qū)型單晶硅傳感器芯片無法自主研發(fā)與制造的空白,解決了我國高端傳感器芯片難點(diǎn),打破了德美日壟斷。共享技術(shù),提升國際地位,德爾森使命所在!我等莘莘學(xué)子使命所在!
 
科技改變世界,追求不斷卓越,德爾森,我們?cè)诼飞希?nbsp;

圖說智能化整理加工,原標(biāo)題:熱烈祝賀德爾森HMD系列超寬溫區(qū)SOI單晶硅傳感器芯片全量程批量生產(chǎn)啦!

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