综合精品视频,午夜在线视频网站,自拍理论片,亚洲精品在线电影,亚洲国产精品综合久久,中文字幕 亚洲精品 第1页

歡迎來到圖頁網(wǎng)

掃碼關(guān)注

圖頁網(wǎng)
微信掃碼關(guān)注

 
 

新型光刻技術(shù)解決硅材料脆性難題,MEMS機械性能極限有望突破

??2020-06-29 閱讀:440

據(jù)麥姆斯咨詢介紹,硅材料從大自然常見的沙子中取材,成本低、產(chǎn)量大,因此被廣泛用作MEMS器件的襯底材料,并被譽為信息時代的“骨干”材料。但是,硅在常溫環(huán)境下的脆性限制了MEMS的許多機械性能。蘇黎世聯(lián)邦理工學院(ETH)與瑞士國家聯(lián)邦實驗室(EMPA)材料與納米結(jié)構(gòu)力學實驗室合作完成的新研究表明,在特定的受控條件下,硅可以成為又容易變形又堅固的材料。此項功能特性的增強將有助于解決MEMS機械性能極限難題。

歷經(jīng)十年的研究成果

聯(lián)合小組經(jīng)過長達十年的研究,重點是采用光刻工藝替代聚焦離子束(FIB)工藝來完成在硅晶圓上的結(jié)構(gòu)制作。FIB雖然可以實現(xiàn)硅晶圓結(jié)構(gòu),但會對硅表面造成損傷并產(chǎn)生缺陷,硅晶圓開裂的風險較高。

為了找到替代方案,研究團隊嘗試了一套特殊光刻技術(shù)。“首先,我們使用等離子體氣體刻蝕硅表面無光刻膠保護的區(qū)域,從而獲得我們所需的結(jié)構(gòu)——微型硅柱。”該研究小組負責人Jeff Wheeler的學生Ming Cheng解釋說,“在接下來的工藝步驟中,硅柱表面被氧化,氧化層厚度小于100 nm,再用氟化氫(HF)完全去除氧化層,完成表面清潔。”

研究團隊對硅柱的強度和塑性變形能力進行了測試,稱已經(jīng)達到了超高的彈性應變極限和接近完美的強度——用光刻技術(shù)制作的硅柱變形能力是過去研究記錄的十倍以上。

左圖為硅柱制造流程示意圖,右圖為電子顯微鏡下的硅柱形貌展示

在電子顯微鏡下觀察不同直徑尺寸的硅柱

實現(xiàn)“絕對純度”,接近理論水平的堅固度

研究結(jié)果表明不僅硅柱的變形能力比過去增強了十倍,強度也達到了以往認知中只有理想晶體才能達到的理論水平。根據(jù)Wheeler介紹,硅柱如此堅固的原因來自硅柱表面的“絕對純度”,這是通過最后的清潔步驟實現(xiàn)的。該工藝大大減少了會導致硅材料開裂的表面缺陷數(shù)量。

采用光刻工藝完成的硅柱(實線)和FIB工藝完成的硅柱(虛線)在恒定應變速率為5 × 10?? s?1變化下的應力曲線對比

Wheeler還指出,團隊的研究結(jié)果可能會對硅基MEMS制造產(chǎn)生直接而深刻的影響:“通過這種工藝,有望將智能手機中的MEMS陀螺儀做得更小、更堅固。”

Wheeler及其團隊研究的工藝方法已經(jīng)被業(yè)界采用,用于改善現(xiàn)有工藝,以及晶體結(jié)構(gòu)與硅類似的其它材料性能。

該項研究帶來的另一個優(yōu)點是可以改善材料的電性能。對硅施加較大的應力可以改善電子遷移率,將該結(jié)構(gòu)集成到半導體芯片中可以縮短開關(guān)時間。

免責聲明:
本站部份內(nèi)容系網(wǎng)友自發(fā)上傳與轉(zhuǎn)載,不代表本網(wǎng)贊同其觀點;
如涉及內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在30日內(nèi)聯(lián)系,我們將在第一時間刪除內(nèi)容!

相關(guān)資訊圖條

    圖頁網(wǎng)
    主站蜘蛛池模板: 日韩欧美精品在线 | 日韩在线视频网 | 亚洲国产欧美日韩精品一区二区三区 | 婷婷综合激情五月中文字幕 | 久久国内| 亚洲男人天堂a | 欧美高清在线视频在线99精品 | 一本岛在免费一二三区 | 日韩成人在线观看 | 在线观看国产视频 | 久久久久久久国产 | 亚洲国产精品线在线观看 | www.五月激情 | 亚洲国产中文字幕在线观看 | 午夜视频精品 | 五月天欧美激情午夜情 | 国产精品嫩草影院在线 | 在线观看网址入口2020国产 | 中文字幕 国产精品 | 亚洲爽视频 | 欧洲色综合 | 九九视频免费观看 | 国产男女自拍视频 | 丁香综合五月 | 国产日本欧美在线观看乱码 | 日韩精品免费在线观看 | 亚洲精品自拍愉拍第二页 | 小 视频 黄 | 男人的天堂在线观看 | 久久久久成人精品一区二区 | 五月婷综合网 | 亚洲国产成人久久综合野外 | 激情五月播播 | 免费大学生国产在线观看p 亚洲欧美自拍偷拍 | 国产日本欧美在线观看乱码 | www.亚洲欧美 | 欧美日韩一区二区在线观看视频 | 亚洲精品mv在线观看 | 午夜视频国产 | 欧美亚洲国产一区二区三区 | 久久精品一区二区三区资源网 |