汽車(chē)壓力傳感器方案
利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,通過(guò)集成電路工藝和MEMS加工工藝研制出了硅壓阻傳感器,目前硅壓阻最小尺寸可以做到0.5*0.5mm以?xún)?nèi),這樣一片8寸晶圓上就可以切割出近10萬(wàn)支壓力傳感器。硅壓阻傳感器作為微型傳感器中的一種,具有尺寸小,產(chǎn)量高、成本低、過(guò)…
2022-06-15 07:45:21利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,通過(guò)集成電路工藝和MEMS加工工藝研制出了硅壓阻傳感器,目前硅壓阻最小尺寸可以做到0.5*0.5mm以?xún)?nèi),這樣一片8寸晶圓上就可以切割出近10萬(wàn)支壓力傳感器。硅壓阻傳感器作為微型傳感器中的一種,具有尺寸小,產(chǎn)量高、成本低、過(guò)…
2022-06-15 07:45:21