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汽車(chē)壓力傳感器方案

利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性，通過(guò)集成電路工藝和MEMS加工工藝研制出了硅壓阻傳感器，目前硅壓阻最小尺寸可以做到0.5*0.5mm以?xún)?nèi)，這樣一片8寸晶圓上就可以切割出近10萬(wàn)支壓力傳感器。硅壓阻傳感器作為微型傳感器中的一種，具有尺寸小，產(chǎn)量高、成本低、過(guò)…